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    干式真空泵

    Osaka干式螺桿真空泵,完全無油運作,適用于大多數潔凈制程;體積小以及操作簡單。

    特點

    排氣速度:50L?min、230L?min、500L?min 3種產品

    極限壓力:DSP50:20Pa、DSP250 ? 500:0.5Pa

    潔凈排氣:沒有油蒸氣,粒子的逆流

    無潤滑油:無同步齒輪,也不需要潤滑油

    攜帶方便:小型,輕量,抗外部干擾

    空冷規格

    初期排氣時間短,大氣壓附近排氣速度快

    低消費電力設計

    應用

    SEM,光刻

    醫療設備

    裝載室,搬送室排氣

    分析儀器

    加速器,離子源,電子槍的排氣

    一般產業

    PVD或R&D

    技術規格

    型號DSP50DSP250DSP500
    排氣速度(L/min)最大50230500
    氣鎮開啟36200430
    極限壓力(Pa)通常200.5
    氣鎮開啟時2002
    法蘭連接進氣口KF16KF25KF40
    排氣口RC1KF25
    電源電壓(V)100-240100-230
    頻率(Hz)50/60
    相數單相
    容許電壓精度±10%
    功率(W)極限壓力時230240270
    最大380600
    冷卻方式空冷
    重量(Kg)91520
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