機械增壓泵
機械增壓泵
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
Edwards EH 機械增壓泵采用獨特的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間。
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是非常受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。
特點
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3/h的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降低。
軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。
應用
半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2 激光
技術規格
型號 | EH250 | EH500 | EH1200 | EH2600 | EH4200 |
抽氣量m3/h | |||||
50Hz | 310 | 505 | 1195 | 2590 | 4140 |
60Hz | 375 | 605 | 1435 | 3110 | 4985 |
前級泵有效泵速m3/h | |||||
E2M40 | 240 | 350 | 840 | ||
E2M80 | 274 | 400 | 840 | ||
E2M175 | 440 | 930 | 1750 | ||
E2M275 | 460 | 1020 | 1900 | 3100 | |
泵上的壓差mbar | |||||
50Hz | 0-180 | 0-110 | 0-90 | 0-120 | 0-70 |
60Hz | 0-150 | 0-90 | 0-75 | 0-67 | 0-50 |
進出口法蘭 | ISO63/ISO40 | ISO100/ISO63 | ISO160/ISO100 | ISO160/ISO100 | ISO250/ISO100 |
轉速rpm | |||||
50Hz | 0-2900 | ||||
60Hz | 0-3500 | ||||
額定連續進口壓力 | 0-1000mbar | ||||
最大出口壓力 | 1000mbar | ||||
建議支持泵 | GV80, E2M40, E2M80 | GV80, E2M80 | GXS160, GXS250, E2M80, E2M175 | GXS250, GXS450, E2M175, E2M275 | GXS450, E2M275 |
電源電壓,3-ph | 220-240V / 380-415V | ||||
電機功率Kw | |||||
碳氫油 | 2.2 | 3 | 11 | ||
PFPE | |||||
ATEX | |||||
防爆電機 | 3 | 4 | 15 | ||
溫度℃ | |||||
工作溫度 | 5至40 | ||||
環境存儲溫度 | -10至80 | ||||
濕度 | 90%RH | ||||
冷卻方式 | 空冷 | 水冷 | |||
建議用油 | |||||
標準 | Ultragrade 20 | ||||
PFPE | Fomblin YVAC 16/6 | ||||
油量L | |||||
齒輪箱 | 1.25 | 3.5 | |||
耦合面 | 1.5 | 2.4 | 6.5 | ||
軸封油層 | 0.125 | 1.5 | |||
重量Kg | 69 | 106 | 149 | 345 | 481 |