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    干式螺桿真空泵

    Osaka ER100D節能型干式螺桿真空泵,ER100DC抗腐蝕性氣體應用版本可選。

    特點

    同型號干式真空泵中的頂級節能,小型?輕量。

    ER100D:適用于輕負載潔凈工藝的排氣
    ER100DC:使用了耐腐蝕能力強的材料,可排腐蝕性氣體

    應用

    潔凈排氣

    濺射裝置的排氣

    分子泵等高真空泵的輔助泵

    裝載室,搬送式排氣

    小型實驗設備的排氣

    吸附或搬送

    分析

    測量儀器的排氣

    真空爐排氣

    電子槍,離子源的排氣

    技術規格

    型號ER100D/ER100DC(耐腐蝕型)
    排氣速度(L/min)1670
    極限壓力(Pa)5
    N2吹掃用氣體流量(Pa.m3/s)17-20
    冷卻水用量(L)1.5-3
    冷卻水溫度Max 30℃
    電源電壓(V)200-240
    頻率(Hz)50/60
    相數三相
    電源容量(KvA)3.2
    功率(W)極限壓力時400
    冷卻方式水冷
    重量(Kg)60
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