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    PRA、WRA殘余氣體分析儀

    Edwards  RGA包括兩種類型: PRA和WRA,都具有簡單和高效的操作性,確保高性能和效率。

    Edwards PRA提供了高性能分析和遠程監控模式。PRA有四種分類可供選擇,以滿足您的過程需求,無論只是需要一個基本RGA還是更敏感/范圍更廣的RGA,PRA系列都是分析過程的基本選擇。

    Edwards WRA 是RGA的頂級產品,具有市場領先的設計與專利。有兩種型號1-200或1-300 amu,可以測量工藝流程的各種氣體以及產生的副產品。與PRA相比,具有更高的靈敏度,從而使測量更精確。

    所有的RGA都配備了專用的,易于使用的軟件,從筆記本電腦就可實時跟蹤工藝過程,多達16個不同單位的詳細分析。RGA本體上有一個面板顯示,可以顯示主要氣體類型和系統的整體壓力,而不必通過筆記本電腦連接或遠程通訊讀取。

    特點

    總壓力測量

    雙燈絲

    面板單元顯示

    易于更換零件

    除氣功能

    離子源和EM多重保護

    應用

    PRA

    高真空抽真空設備的殘余氣體分析

    研發過程中的氣體分析

    冷凍干燥中的氣體分析

    PV/FPD/Semi氣體分析

    WRA

    UHV設備的殘余氣體分析

    有機材料分析

    環境分析

    氣體雜質

    技術規格

    型號

    PRA100

    PRA100S

    PRA200

    PRA200S

    WRA200S

    WRA300S

    質量數范圍

    1-100amu

    1-200amu

    1-300amu

    質譜儀類型

    QMS

    探測器類型

    FC

    FC/EM

    FC

    FC/EM

    FC/EM

    FC/EM

    靈敏度A/mbar

    1x10-5

    400/1x10-5

    1x10-5

    400/1x10-5

    400/2.5x10-4

    最小可測分壓(mbar)

    1x10-10

    1x10-14/1x10-10

    1x10-10

    1x10-14/1x10-10

    1x10-15/1x10-11

    最高工作壓力(mbar)

    1x10-4

    燈絲材質

    Ir/Y2O3

    工作溫度

    40℃

    最大分析溫度

    120℃

    250℃

    最大烘烤溫度(移除電子)

    250℃

    300℃

    連接法蘭

    DN40CF

    輸入電源

    DC24V ±10% 50W

    重量

    2.6

    2.84

    2.6

    2.84

    3.21

    3.21

    防護等級

    IP30

    串口通信

    RS232C/RS485

    分辨率

    M/DeltaM=1M(10%PH)

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