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  • 成都四洋科技有限公司官方網站

    渦輪分子泵

    Osaka渦輪分子泵使用了脂潤滑陶瓷軸承,實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強,可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產品。

    特點

    無油的超真空環境

    機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

    可排稀有氣體和腐蝕性氣體

    可連續排大流量氣體

    可工作的壓力范圍寬。(~10-10Pa)

    應用

    半導體制造

    電子槍排氣,離子源排氣

    FPD制造

    表面處理,表面改質

    各種電子部件的制造

    分析,試驗裝置

    管球制造,光學部件制造

    加速器,放射線設施,核聚變研究

    熱處理

    研究開發

    技術規格

    型號

    TG50F

    TG60F

    TG70F

    TG220F

    TG240F

    TG350F

    TG450F

    TG800F

    TG1100F

    TG1400F

    TG2400

    法蘭

    吸氣口ISO-R/CF

    63

    KF40/63

    63

    100

    100

    100

    160

    160

    200

    200

    250

    排氣口

    KF16

    KF16

    KF16

    KF25

    KF25

    KF25

    KF25

    KF40

    KF40

    KF40

    KF40

    排氣速度

    N2(附加金屬過濾網)

    49L/s

    55L/s

    65L/s

    210L/s

    240L/s

    310L/s

    430L/s

    750L/s

    1000L/s

    1300L/s

    2300L/s

    H2

    12L/s

    22L/s

    40L/s

    100L/s

    160L/s

    210L/s

    240L/s

    650L/s

    720L/s

    750L/s

    1100L/s

    最大壓縮比

    N2

    1.4×107

    2×107

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    H2

    5×102

    2×103

    1×105

    4×102

    4×104

    2×103

    2×103

    1×104

    1×104

    4.3×103

    1.4×103

    極限壓力

    ISO-R/CF

    <3×10-6Pa

    <5×10-6Pa/<1×10-6Pa

    <5×10-7Pa/<1×10-7Pa

    <1×10-6Pa

    <1×10-6Pa/<5×10-7Pa

    <1×10-6Pa

    <1×10-6Pa

    <1×10-6Pa

    <1×10-6Pa

    <1×10-6Pa

    <1×10-6Pa

    最大氣體流量

    N2(sccm)

    80

    20

    20

    400

    70

    500

    500

    330/860

    330/860

    450

    900/1500

    推薦輔助泵

    ≥50L/min

    ≥25L/min

    ≥25L/min

    ≥80L/min

    ≥80L/min

    ≥80L/min

    ≥80L/min

    ≥250L/min

    ≥250L/min

    ≥250L/min

    ≥500L/min

    容許輔助壓力

    1330Pa

    800Pa

    1200Pa

    260Pa

    700Pa

    260Pa

    260Pa

    330Pa

    330Pa

    330Pa

    200Pa

    重量Kg

    ISO-R/CF

    4.2/6

    3.4/5.4

    3/5

    5.5/8

    7.3/10.5

    6/9

    7/10

    27/26

    28/27

    29/30

    45/47

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