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  • 成都四洋科技有限公司官方網站

    磁懸浮復合分子泵

    Osaka復合分子泵使用磁懸浮軸承實現無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產品。

    特點

    全方位安裝
    輕巧設計
    節能
    分子泵停止與啟動時間短
    附帶維護警報機能
    低振動
    無需調整
    自動校準
    可控制轉子旋轉速度
    大流量排氣
    多種通信模式
    符合安全規格 NRTL/SEMI-S2/CE

    應用

    半導體制造

    電子槍排氣,離子源排氣

    FPD制造

    表面處理,表面改質

    各種電子部件的制造

    分析,試驗裝置

    管球制造,光學部件制造

    加速器,放射線設施,核聚變研究

    熱處理

    研究開發

    技術規格

    型號

    TG390M

    TG420M

    TG900M

    TG1300M

    TG2400M

    法蘭

    吸氣口ISO-R/CF

    100

    160

    160

    200

    250

    排氣口

    KF25

    KF25

    KF40

    KF40

    KF40

    排氣速度

    N2(附加金屬過濾網)

    320L/s

    370L/s

    860L/s

    1230L/s

    2300L/s

    H2

    290L/s

    300L/s

    1050L/s

    1200L/s

    1100L/s

    最大壓縮比

    N2

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    1×108

    H2

    4.3×103

    4.5×103

    1.5×104

    1.5×104

    1.5×103

    極限壓力

    ISO-R/CF

    <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

    <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

    <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

    <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

    <1×10-6Pa

    最大氣體流量

    N2(sccm)

    2000

    2000

    3000

    3000

    3000

    推薦輔助泵

    ≥160L/min

    ≥160L/min

    ≥250L/min

    ≥250L/min

    ≥500L/min

    容許輔助壓力

    400Pa

    400Pa

    500Pa

    500Pa

    200Pa

    重量Kg

    ISO-R/CF

    14/17

    14/17

    34/42

    34/42

    45/54

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