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    數字式質量流量控制器-金屬密封

    VIC-W200系列金屬密封型數字式質量流量控制器(MFC),產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,氣體通路及密封件采用金屬密封及聚四氟乙烯材質,適用于所有毒性氣體、腐蝕性氣體、易爆性氣體或高壓環境。

    特點

    全測量區間內響應速度≤1秒

    金屬密封及PTFE,對有毒及腐蝕性氣體,易爆性氣體耐久性強

    同時支持RS485和模擬量信號

    適用浪涌和過電壓的內部電路設計

    維持準確度,溫度變化不敏感

    進出口可熔接,完全防止產品漏氣

    技術規格

    型號

    VIC-W210

    VIC-W220

    流量范圍(N2 換算基準 )

    5sccm至1.5slm

    1.5slm至50slm

    控制流量范圍

    2 ~ 100%滿量程

    準確度

    ≤±1%滿量程

    響應時間

    ≤1秒(10~100%滿量程)

    線性度

    ≤±0.2%滿量程

    再現性

    ≤±0.2%滿量程

    閥門類型

    常閉閥

    密封類型

    金屬密封+FEP封裝O型圈

    通訊方式

    模擬:0-5VDC或4-20mA
     數字:RS485

    總線:DeviceNet

    電氣接頭

    9針D-Sub公頭

    電源

    +15VDC至+24VDC

    溫度

    操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)

    預熱時間

    15分鐘(準確度保證:30分鐘)

    法蘭連接

    1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)

    產品尺寸


    質量流量控制器訂購參數確認單

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